潔淨高效，Cobetter Chemrapid™ 2nm助力濕法工藝效能提升

PTFE（聚四氟乙烯）材料以其卓越的高溫耐受性和化學相容性，在濕法刻蝕和清洗工藝等領域有著廣泛的應用。

Cobetter的Chemphobic™/Chemrapid™系列高純化學品過濾器，採用Cobetter自主研發的高性能PTFE濾膜，專門為濕法刻蝕和清洗工藝中的高溫、強氧化性和強腐蝕性的高純化學品而設計。這些過濾器適用於SPM、H3PO4、HNO3、H2O2、SC1、SC2、TMAH、DIO3，EKC，NMP、IPA等高純化學品的過濾需求。

Chemrapid™系列產品優勢：

Ø 高截留效率：濾芯具備卓越的2 nm的過濾精度，能夠在高溫、強酸、強鹼和有機溶液中保持高效穩定的顆粒截留能力。

Ø 親水改性濾膜：該系列的PTFE濾膜經過表面改性處理，提高了濾膜的表面張力。這一特性有效地防止液體中的微小氣泡堵塞膜孔，確保在SPM、H2O2、SC1等高純化學品的過濾時保持穩定的流速。

卓越的潔淨度：Cobetter採用先進的清洗工藝，確保該系列過濾器在強酸、強鹼、有機溶劑中的雜質溶出非常低，以確保滿足高階製程對潔淨度的嚴苛要求。

Chemrapid™系列產品在客戶端的應用案例：

CobetterChemrapid™系列高潔淨度的過濾器在SC1中表現出很低的金屬離子溶出，從而有效降低了晶圓上Worm Defect的產生。此外，該產品經過短時間的flush就可以將總的溶出量穩定在Spec內，從而提升工藝良率，減少啟動時間，提升產能。

客戶Worm Defect改良實例：

CobetterChemrapid™系列高效率2 nm過濾器具有優秀的顆粒截留能力，可以有效降低在高端製程的高純化學品中納米級別的顆粒，從而保證工藝的清洗品質。

客戶Particle Performance 改良實例：

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