從客戶需求出發：Cobetter FOUP Clean機台過濾器助力半導體良率提升

晶圓製造是人類至今為止最為複雜的製造業之一，單片晶圓需要在數十種不同機台之間來回流轉，經過上千道半導體工藝的處理，最後才能誕生指甲蓋大小般的芯片。

作為主要保護和傳輸晶圓的容器，前開式晶圓傳送盒（Front Opening Unified Pod，FOUP）的重要性不言而喻。FOUP是先進晶圓廠重要生產工具之一，每片晶圓有70%以上的時間存放在FOUP中，FOUP也需要保護晶圓在各個機台之間傳送時免受外界顆粒物Particle、離子以及揮發性有機物VOC的影響，因此其自身的潔淨度非常關鍵，會直接影響到晶圓生產的良率。FOUP需要使用專門的清洗機台進行洗淨，以達到化學潔淨和穩定的環境，保證晶圓不受污染。

目前業內主流FOUP Clean清洗機台使用高壓去離子水（DIW）噴霧對FOUP進行洗淨後，結合紅外加熱及熱純化乾燥空氣（XCDA）烘乾，後續採用真空與氮氣吹掃相結合的方式，確保在FOUP完全去除VOC和水分。

常規FOUP Clean機台配備的XCDA吹掃過濾器的正確選擇也非常重要，由於烘乾氣體需要達到一定的溫度，若過濾器的材質沒有選擇正確，在高溫下使用存在風險，非常容易發生光氧及熱氧老化，導致材質變脆，容易成粉末狀，不僅帶來了particle污染，影響晶圓良率，而且也影響了過濾器的使用壽命。同時FOUP Clean機台所用烘乾、吹掃氣體流量非常大，需要採用大尺寸、大流量的氣體濾芯。但是由於長度方面的影響，大尺寸的內芯安裝在過濾器筒體內容易晃動，導致機台通氣運行時產生大量的雜訊，影響設備工程師的使用體驗。 

為了協助客戶解決良率問題，不斷提升半導體行業製造工藝水準，促進產業進步與創新。科百特憑藉在過濾純化技術領域內的雄厚積累，結合高純流體解決方案，在接到客戶客制化需求後，迅速回應，推出了Gasfender系列FOUP Clean機台大流量氣體過濾器。

該系列產品採用了相容性更加優異、耐高溫耐氧化的PFA材質，同時在結構上做了升級。不僅杜絕了過濾器內芯材質氧化的可能，同時還有效避免內芯在殼體內晃動而產生雜訊。 

Cobetter Solution

為了提高產品壽命，從以客戶為中心的角度出發，科百特採用了獨特的膜材折疊方式，進一步增加膜面積，有效提高了產品使用壽命。且全系列產品使用了獨家自研的半導體洗淨工藝，確保過濾器自身的潔淨度，有效控制了VOC、金屬離子、酸鹼離子的潔淨等級。該系列產品目前已批量應用到客戶端FOUP Clean機台上，有效保障了客戶的產品良率。

客戶案例

目前該系列產品已經在先進晶圓代工廠及存儲晶片大廠均成功應用。

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