在半導體製造過程中,高純有機溶劑常用於清洗、去膠等工藝步驟,通常來說,有機溶劑具有易燃易爆的特性,在靜電作用下可能引發火災或爆炸。因此,在半導體工廠中,所有有機溶劑的存儲、運輸和使用都需要特別注意靜電防護,通常會採用不鏽鋼的容器和輸送管路,但隨著積體電路晶片製造工藝的進步,線寬關鍵尺寸不斷縮小、晶片結構3D化,晶圓製造向更先進的工藝發展,對高純有機溶劑的純度要求也越來越高。因此,採用高純、高潔淨的PFA材料作為輸送管道成為必要選擇。
在有機溶劑運輸過程中,與不同材質的表面接觸和摩擦時,會因電荷分離而產生靜電。然而,大多數有機溶劑是電絕緣體,導電性能差,產生的靜電不易消散。當靜電積累到一定程度,且存在合適的放電路徑時,可能會引發火花放電。在易燃或可爆炸的有機溶劑環境中,這樣的火花可能成為火災或爆炸的點火源,具有隱蔽性、潛在性、隨機性和複雜性,為火災或爆炸危害埋下了重大的安全隱患。除此以外,電火花的產生也會損害系統中的流體處理部件,對設備機台的正常運行產生影響。
因此,在半導體工廠中,靜電防護措施至關重要。為了防止流體輸送中的靜電的產生和積累,科百特繼高純PFA管批量供貨之後,推出了CleanPass™ 系列PFA防靜電管,專為解決有機溶劑運輸中的靜電問題,為有機溶劑安全運輸提供保障。CleanPass™系列PFA防靜電管結合高純PFA原料與導電碳材料,採用一體擠出成型工藝製造。管道外部的電荷積聚後,通過導電條連接金屬接地,將靜電安全導向地面,有效排除靜電風險,確保有機溶劑的安全運輸。
Cobetter CleanPass™系列PFA防靜電管具有優秀的導電性能。運用先進的潔淨管控技術,Cobetter PFA防靜電管潔淨度高,金屬離子析出更低,除此之外,在耐壓和材料耐久性方面都有優異的表現。
使用特點
·具有與PFA管相同的耐化學性、耐熱性;
·便於觀測流體狀態;
·具備靜電導流能力,阻止由於靜電產生的絕緣破壞;
·低電阻,更好導電;
工作參數
規格 | 最高使用溫度(℃) | 常溫極限耐壓(Mpa) | 最小彎曲半徑(mm) |
1/4"×5/32" | 260 | 7.5 | 20 |
3/8"×1/4" | 6.9 | 30 |
導電性能
規格 | 測試電壓/V | 測試樣品長度/cm | 平均值/MΩ |
3/8" | 250 | 10 | 0.021 |
1/4" | 250 | 10 | 0.112 |
Cobetter CleanPass™ 系列PFA防靜電管在原有高純PFA管基礎上,針對高純有機溶劑的輸送方面進行了補充,為客戶提供更全面的流體輸送解決方案,更好的服務。
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