抗反射塗層（Anti-Reflection Coating，簡稱ARC）是一種專門應用於光刻膠與矽（Si）襯底介面之間的塗層材料，旨在減少光刻過程中產生的反射光。其中，TARC（Top Anti-Reflection Coating，頂層抗反射塗層）技術是通過在光刻膠層頂部塗覆抗反射塗層，減少由於光刻膠膜厚度變化引起的光學干涉效應，從而降低在光刻過程中對光刻膠內部的曝光能量波動，穩定和控制光刻圖形的線寬。在光刻過程中，TARC發揮著不可或缺的作用，能夠有效降低光刻膠表面反射能量的振幅，從而在保持光刻膠性能的同時，實現更精確、更穩定的線寬控制。
然而，TARC在過濾和塗布過程中存在普遍的微氣泡問題，氣泡來源於液體與管路以及與濾芯的接觸。常見的TARC溶液中含有氟化表面活性劑，這種表面活性劑會降低溶液的表面張力，從而加速了氣泡的產生，這是過濾過程中產生的氣泡以更穩定的形式存在的原因。在曝光過程中，存在於TARC中的氣泡會由於氣泡內外折射率的差異改變光路，從而導致光刻膠膜內成像異常，形成缺陷。
過濾過程中影響氣泡的因素
●濾芯壓差
●濾膜親疏水性（表面能）
●濾芯上機初期的潤濕性
在過濾過程中，氣泡的產生是無法避免的。但是針對以上造成氣泡問題的原因，科百特可以提供降低氣泡數量和提升過濾性能的創新解決方案：
Cobetter採用了壓損更低的HDPE（高密度聚乙烯）膜，在相同coating速度下，科百特濾芯的過濾壓差更低，因此可以減少壓差導致的氣泡產生；
Cobetter濾芯採用潤濕包裝的方式可以有效極大的避免氣液接觸產生的氣泡(幹包裝時濾芯內部全是氣體)；
Cobetter採用了對顆粒攔截性能更強的20nm HDPE膜，對顆粒的攔截效率相比於傳統HDPE也有一定程度的提升。
在該光刻濾芯的實際應用中，科百特濾芯在過濾TARC液體時產生的氣泡明顯少於競品，且在攔截顆粒方面的表現也相當出色，是值得信賴的選擇。
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