Cobetter Gasadv™ MGC系列氣體過濾器是專為半導體晶片製程中的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積等關鍵製程而設計的高潔淨氣體過濾解決方案,該系列產品內部採用Cobetter自主研製的不鏽鋼膜/鎳膜作為過濾介質,其獨特設計的孔道結構,既能高效地攔截微小顆粒(1.5nm@LRV9),同時也保持了良好的氣體通量,可有效保障下游所需的高潔淨氣體供應。
與標準的管道式過濾器不同,MGC系列產品採用符合SEMI標準的模組化設計(W型/C型密封)。這種設計有效地減小了設備體積,使得氣路系統更加緊湊,節省了空間資源,模組化設計方便了安裝和維護工作,操作更加便捷。
MGC系列產品的優勢如下:
特製不鏽鋼膜/鎳膜的內部孔道結構可高效攔截粒徑大於1.5nm的氣體顆粒,攔截效率高達99.9999999%(LRV 9)。
產品採用表面安裝方式(1.125”C型/W型密封),有利於實現小型化,且便於安裝和維護。
產品外殼採用高質量的VIM/VAR 316L不鏽鋼材質,內部流道經過電解拋光,進一步減少污染。
產品的整個生產流程都在潔淨車間內進行,並經過嚴格的成品檢測,具備高品質保證。

Cobetter Gasadv™ MGC系列產品在相同進氣壓力和壓力損失下,展現出更卓越的流量性能。舉例來說,與A公司的產品相比,當過濾器壓差為15kPa時,Cobetter的同規格產品,流量提升了33%。與B公司的產品相比,當過濾器壓差為30kPa時,Cobetter的同規格產品,流量提升了30%。這表明MGC系列產品在氣體通量上具有明顯的優勢,可以提供更高效的氣體過濾解決方案。
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