Cobetter Novacon™系列產品可應用於半導體濕法製程的過濾，採用Cobetter自主研發生產製造的HAPES濾膜，具有高度非對稱結構，可在保證有效去除顆粒的同時，實現高流量高納汙能力。相比PTFE濾膜，Novacon™系列產品提供更為高性能的過濾解決方案，為濕法刻蝕和清洗工藝的水性溶液過濾提供保障。
產品優勢
高效率
HAPES是一種絕對過濾膜，可以高效地攔截污染物顆粒，可達到1nm的過濾精度，超過了PTFE的過濾精度，能夠將溶液過濾更乾淨；
多樣應用
基於PES材料的物理、化學性能，HAPES濾膜具有良好的親水性和化學相容性，適用於低溫的弱酸、鹼和水性溶液中。Novacon™產品在DHF、DIW、ST250、CO2 water和BOE等WEC常見溶液中具有優異穩定的過濾性能；
非對稱性
Cobetter的HAPES膜採用高度非對稱的結構設計，進液面採用大孔結構，出液面採用小孔結構，二者孔徑比可達100倍以上。這種結構能夠實現不同尺寸的污染物顆粒在單層濾膜上逐級分離，從而顯著提高濾膜的納汙量和使用壽命，同時提高過濾流速。
高流速
相同精度和尺寸的HAPES和PTFE濾芯流速比較，相同壓差下，HAPES濾芯的流速比PTFE高25%以上。相比PTFE，同樣精度的HAPES膜有顯著的流速優勢。
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