微電子行業的光刻技術關鍵組成部分包括光源（曝光設備）、光刻膠（PR）和掩膜版（Mask）。在曝光過程中，光刻膠受到曝光後需要進行顯影，將Mask上的圖案轉移到光刻膠上。整個工藝包括清洗、塗布、曝光、顯影等步驟。其中，在塗布完成後，需要進行預烘烤，以去除光刻膠中的溶劑；曝光顯影後，再進行後烘烤，以完全去除顯影劑和沖洗液，並提高與玻璃基板的附著力。在整個烘烤的過程中，對微粒（Particle）的嚴格管控非常重要，這時選擇一款可以在高溫環境下長期運行且性能可靠的耐高溫高效過濾器成為關鍵。
耐高溫高效過濾器和常規高效過濾器有什麼差異呢？
我們需要從原理和結構上進行說明。關於過濾原理，兩者的目標去除污染物均為空氣中顆粒物。高效過濾器（HEPA）對顆粒物的去除為多種過濾效應的共同作用，如慣性效應、攔截效應、擴散效應等。綜合下來，可以按照EN1822標準規定以MPPS（Most Penetrating Particle Size）對效率進行評價。根據經驗，MPPS一般介於0.07um~0.12um之間，會隨著材料和工況略有不同。所以，同過濾等級的常規高效過濾器和耐高溫高效過濾器在去除顆粒物的能力上基本一致，如H14高效過濾器和H14耐高溫高效過濾器，兩者過濾效率一致。
關於產品結構，此類高效過濾器主要由外框、濾材、隔板、端封材料和密封墊片組成。在高溫環境下，上述材料的選擇需要考慮其自身的耐溫性能以及熱脹冷縮特性。如設計溫度300℃，所選材料均需能長期耐溫300℃以上，才能確保過濾器穩定運行，通常選擇不鏽鋼外框、耐高溫玻纖濾紙等。在升降溫程序中，外框和濾紙之間的熱脹冷縮係數存在差異，需要選擇合適的柔性材料平衡此差異帶來的形變，從而確保過濾器整體的密封性能。
Cobetter耐高溫高效過濾器由不鏽鋼框架、玻纖濾膜、不鏽鋼或鋁箔隔板、耐高溫端封棉、玻纖墊片等組成。其中，框架和濾紙之間使用特性柔軟的耐高溫纖維棉進行可靠密封。基於對耐高溫材料的深入研究和嚴謹驗證，如高低溫衝擊試驗，驗證filter在升降溫程式中，保持可靠穩定的性能；又如高溫加速耐久性驗證，以確保filter在長期使用中，不會出現濾紙斷裂、密封材料掉粉等問題。因為一旦存在破損，則對產品造成不可控的危害。同時，與傳統的耐高溫陶瓷膠高效過濾器相比，Cobetter耐高溫過濾器大大縮短安裝過程中的調試時間，僅需1~2次升降溫過程，節省了用戶約40%升降溫時間。
在平板顯示行業的Array、CF等製程的soft bake和hard bake的oven機台需要將塗覆光刻膠中的溶劑和水分進行充分乾燥，並加強光刻膠與玻璃基板的附著力。Cobetter已為多家知名平板顯示客戶提供性能穩定可靠的耐高溫高效過濾器，確保了高溫oven系統的氣體環境潔淨度。
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