在半導體新材料的研發過程中,過濾純化是其中必不可少的一環,在新材料的性能上滿足功能要求的同時,材料中的顆粒和金屬離子的濃度也需要特別管控,因為它們會直接影響到產品的性能表現,因此,在研發過程中,選擇合適的過濾純化產品配置是重要的課題。
對於半導體領域的關鍵材料,比如光刻膠slurry,封裝材料等功能性材料,都會經歷實驗室的小試、中試,再到量產等開發階段,通過不斷對小試中試的工藝調整優化,我們可以更好地來滿足量產階段的要求,盡可能實現經濟效益的最大化。在這個過程中,從理論設計過濾和純化的方案,到實際驗證過濾和純化的效果,:再到確定過濾和純化配置,每一步都至關重要。
Cobetter致力於為客戶提供極致的產品和持續創新的方案,通過採用高純的流體產品,結合專業的過濾純化配置方案,為客戶在新材料開發過程中提供系統性的解決方案。
實驗裝置包括:
PFA閥門
閥體採用PFA材質,接觸液體的膜片採用PTFE材質,全氟材質確保閥門滿足半導體等級潔淨度要求。閥門經過嚴格測試和驗證,具備百萬次以上的開關壽命,確保長時間穩定使用。
PFA管接頭
採用高純PFA材料,確保管路耐高溫、耐腐蝕性和高潔淨度。
PFA Tank
採用高純PFA材料,耐高溫、耐腐蝕性和高潔淨度。
動力源
可選擇壓縮氣體或者泵作為動力源。
過濾純化產品
囊式過濾器,多種規格尺寸可選,根據不用藥液特性以及對顆粒金屬要求,推薦不同方案配置。
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