行業應用 半導體
氣體系統

半導體廠務氣體系統負責為半導體製造提供各種高純度、高質量的氣體，以滿足半導體製造過程中各工藝的需求。該系統主要分為大宗氣體和特殊氣體兩大類，以滿足不同工藝的多樣化需求。大宗氣體包括氮氣、氧氣、氬氣等，在蝕刻、沉積、清洗等基礎工藝中發揮著關鍵作用。特殊氣體如矽烷、磷烷等，則針對特定工藝需求提供高純度、高精度的氣體供應，確保半導體產品的高質量和生產的高效率。

科百特為廠務氣體系統提供過濾和純化解決方案，有效去除氣體中的微污染物，確保高純度氣體的安全穩定的供應，為半導體製造工藝提供可靠保障。

Cobetter氣體過濾解決方案

Cobetter氣體純化解決方案

Cobetter AMC解決方案

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