行業應用 半導體 氣體系統 Cobetter氣體過濾解決方案

GTP 系列 製程特殊氣體過濾濾芯

概述

GTP 系列 製程特殊氣體過濾濾芯

GTP系列濾芯是專為特殊氣體過濾而設計。濾材選用PTFE，成型材料選用高純PFA材質，可耐高溫，耐氧化；高密度折疊設計保證了高通量和低壓損。

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產品特點


耐高溫和耐氧化

濾材選用PTFE，成型材料選用高純PFA，能夠耐受製程特殊氣體。

 

過濾面積大

採用高密度折疊技術，過濾面積大。

 

高通量低壓損

PTFE濾膜的天然疏水性，過濾氣體時，過濾通量大和初始壓差低。

 

高過濾精度

PTFE濾膜，確保絕對攔截效率，過濾精度可達0.003μm，滿足更高要求。

 

100%出廠前完整性檢測

 


應用

適用於大宗氣體過濾、氧化性氣體過濾、腐蝕性氣體過濾

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