行業應用 半導體 氣體系統 Cobetter氣體過濾解決方案

概述

EFU

EFU主要由高性能離心風機和過濾器組成,電機可選用交流電機,EC電機,過濾器採用標準的除顆粒過濾器,可安裝HEPAULPA,過濾材料可以選擇玻璃纖維或者聚四氟乙烯材料。當需要去除氣體中的酸、鹼和VOC時,也可以安裝AMC過濾器。

產品特點

箱體採用鋁鋅板,可定制SUS304、噴塗碳鋼板等;

箱體結構可靠,專業設計,安裝方便;

超薄箱體高度可達80mm

交流電機,3步或5步控制,可選EC電機,無級控制;

控制靈活,可以單獨或分組控制;

過濾器選擇HEPA作為標準配置,ULPA作為可選配置。材料可選擇玻璃纖維或PTFE等;

專業AMC過濾解決方案;

機組運行穩定,送風均勻。


應用

設備的環境氣體過濾

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  1. EFU

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