行業應用 半導體 氣體系統 Cobetter氣體過濾解決方案

Gasclar™ PF系列氣體過濾器

概述

Gasclar™ PF系列氣體過濾器

GasclarTM PPF系列氣體過濾器是專門為工藝中去除氣體顆粒，提高產品良率而設計的。採用不同的濾膜材料，可以提供從H13到H17的過濾效率。

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產品特點

顆粒截留效率高

沒有硼、磷釋放

高納汙量

低壓損

靈活的客製化設計

應用

潔淨室的環境氣體過濾

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  1. Gasclar™ PF系列氣體過濾器

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