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行業應用 電子材料
光刻膠

光刻膠是由樹脂、感光劑和溶劑三種主要成份組成的對光敏感的混合液體,應用於積體電路和平板顯示等行業的光刻工藝。光刻膠的技術要求高,品種繁多,包括紫外寬譜(g+h+i線) 光刻膠、KrF(248nm)光刻膠、ArF(193nm)光刻膠、極紫外光(EUV)光刻膠以及光刻配套的專用化學品包括增黏劑、稀釋劑、顯影液、剝離液和清洗劑。

隨著工藝節點的降低,光刻膠中微雜質的含量對器件性能影響日益顯著。即使微小的雜質顆粒、金屬離子以及化學物質都可能在微縮的器件結構中引起缺陷,影響良率。過濾純化作為光刻膠生產過程中的關鍵環節,發揮著至關重要的作用。科百特為光刻膠及配套化學品的生產提供全方位的過濾、純化、包裝和流體解決方案。

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