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Gasclar™ 系列AMC化學過濾器

概述

Gasclar™ 系列AMC化學過濾器

Gasclar™ 系列 AMC 化學過濾器專為半導體製程氣體污染控制而設計,可有效去除氣體中的可凝結有機物、酸性氣體、鹼性氣體及難揮發化合物等多種污染源。

濾材採用多層堆疊結構,搭配創新的無膠黏接製程,避免傳統膠合造成的活性碳孔阻塞與氣體逸散問題。

濾膜設計為折疊式,具備大面積有效過濾介面,吸附效率佳,能夠一支濾芯同時濾除多種 AMC 污染物,有效保護設備並提升產品良率。

產品特點

吸附效率高

阻力壓降小

使用壽命長

潔淨室製造

氣體釋放量低

靈活的客製化設計

應用

曝光機的環境氣體、工藝氣體的保護

潔淨室的環境氣體保護

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  1. Gasclar™ 系列AMC化学過濾器

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