行業應用 半導體 乾式蝕刻 Cobetter氣體過濾解決方案

Gasfender™系列高純V型氣體過濾器

概述

Gasfender™系列高純V型氣體過濾器

GasfenderTM系列是高純氣體系統過濾非常好的選擇，精度可達0.01µm。推薦應用於半導體工藝製程，這些氣體過濾器具有非常好的化學相容性，能夠應用於各種工藝氣體的過濾。

過濾器設計緊湊，方便安裝。

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產品特點

PTFE濾膜：過濾效率高，化學相容性好。

潔淨室製造：確保過濾器潔淨、性能優秀。

高可靠性：100%氦氣洩露檢測和100%完整性測試。

易於安裝：精巧緊湊，確保安裝容易。

應用

適用於高純度氣體系統的過濾

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