行業應用 半導體 乾式蝕刻 Cobetter氣體過濾解決方案

Gasadv™ W系列氣體過濾器

概述

Gasadv™ W系列氣體過濾器

GasadvTM W系列316L不鏽鋼膜或鎳膜氣體過濾器是高溫和壓力波動應用點的可靠選擇。這些氣體過濾器具有很高的初始潔淨度和超低的放氣量，通過先進的焊接技術，將高顆粒截留效率的316L不鏽鋼膜或鎳膜與316L外殼結合，在惰性氣體和反應氣體的過濾中具有優秀的顆粒截留效率和出色的化學相容性。

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產品特點

高顆粒截留效率的316L不鏽鋼膜或鎳膜

過濾精度可達1.5nm

100%的完整性測試

尺寸緊湊、多種連接方式可選

潔淨室製造、清洗和包裝

應用

高純工藝氣體系統使用點的氣體過濾器

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