行業應用 半導體 乾式蝕刻 Cobetter氣體過濾解決方案

Gasadv™系列不鏽鋼纤维墊片過濾器（Disc款）

概述

Gasadv™系列不鏽鋼纤维墊片過濾器（Disc款）

GasadvTM系列不鏽鋼纖維墊片過濾器是可以直接作為墊片過濾器安裝在氣體分配系統中。這些墊片過濾器採用全金屬結構，即使在高溫高壓環境下，也可有效保護敏感元件，例如質量流量控制器、調節器和閥門等，免於微粒的破壞。
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產品特點

安裝簡易

易於校準的固定器

全金屬結構，適合高溫高壓應用

潔淨室製造、清洗與包裝

應用

保護氣體分配系統中敏感元件

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  1. Gasadv™系列不鏽鋼纤维墊片過濾器（Disc款）

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