行業應用 半導體 濕法刻蝕和清洗 Cobetter流體控制輸送解決方案

EfficFlow™ PR & PC 系列氣動風囊泵

概述

EfficFlow™ PR & PC 系列氣動風囊泵

風囊泵被稱為供液系統的“心臟”，是供液系統中輸送的流體介質的動力源。作為半導體供液系統及設備中必不可少的核心配件，其具有耐高溫、耐腐蝕、超潔淨的重要特性。為了更好地服務客戶，滿足客戶需求。科百特在PFA管閥的成功開發經驗基礎上，依託強大的材料加工能力和多年的微污染控制技術積累，成功自主研發了PR、PC系列風囊泵，滿足客戶對高純度、安全性、可靠性風囊泵的需求。

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產品特點

抗疲勞

風囊材料採用抗彎折疲勞特性優良的特殊PTFE。

 

耐高溫

PR系列風囊泵最高液體輸送溫度達到180°C，PC系列風囊泵最高液體輸送溫度達到100°C。

 

耐腐蝕、高潔淨度

液體發生接觸的部分全部採用耐化學腐蝕性優良且潔淨等級高的氟塑膠(PTFE,PFA)製造，能夠適用於各種高純酸鹼化學品。

 

使用安全性高

設有漏液檢測裝置，泵體內料液流出即會觸發電極，可實現信號輸出提示漏液，防止漏液風險的進一步擴大。PC泵最適於輸送Slurry PC泵的結構為流體在風囊外流通，風囊外表面是圓柱狀，會讓slurry裏的顆粒自然滑落，減少顆粒沉積，延長了波紋管的使用壽命。

 

先進檢測手段

關鍵零部件採用高精度，三維成像的CT掃描技術檢測。

 

易於拆卸

拆卸式端蓋設計，便於檢修和更換。

應用

PR系列：可應用於化學液體、Slurry、純水

PC系列：可應用於化學液體、有機溶劑、Slurry、純水

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