行業應用 半導體 乾式蝕刻 Cobetter氣體擴散解決方案

Gascatter™系列擴散器

概述

Gascatter™系列擴散器

GascatterTM系列316L不鏽鋼膜或鎳膜擴散器能應用於半導體設備中，通過減少加載互鎖排氣迴圈時間，有效提高系統產能。進入的氣體通過擴散器均勻地分散到加載互鎖室、傳送室、冷卻室和製程腔室中，並將低壓達到大氣壓，且不會攪動室中的顆粒。這些擴散器也是高顆粒截留效率的氣體過濾器，可防止腔室受到微粒污染。

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產品特點

高顆粒截留效率的316L不鏽鋼膜或鎳膜

過濾精度可達1.5nm

容易安裝&可定制設計

潔淨室製造、清洗和包裝

應用

減少排氣時間和顆粒過濾的解決方案

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  1. Gascatter™系列擴散器

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