行業應用 半導體 乾式蝕刻 Cobetter氣體純化解決方案

GasPuriadv™系列使用點氣體純化器

概述

GasPuriadv™系列使用點氣體純化器

可高效去除氣體中的VOC、酸、鹼、微粒和濕氣。可確保在氣體接收、儲存及使用點提供合格且穩定的純化氣體。


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產品特點

過濾精度可達1.5nm

具有高吸附效率

100%完整性測試

使用壽命長

低阻力壓降

尺寸緊湊、多種連接方式可選

潔淨室製造、清洗和包裝

應用

酸、鹼和有機物的純化解決方案

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  1. GasPuriadv™系列使用點氣體純化器

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