行業應用 半導體 濕法刻蝕和清洗 Cobetter過濾、純化解決方案

Chemega™系列高截留效率PTFE過濾器

概述

Chemega™系列高截留效率PTFE過濾器

ChemegaTM過濾器由PTFE膜製成,可滿足各種高純度化學品和溶劑的過濾應用。

該系列過濾器具有很好的化學相容性,能夠耐受大多數低溫、稀釋的半導體工藝化學品和溶劑。有多種過濾精度可供選擇,以滿足大多數客戶的需求。

親水PTFE膜可用於稀釋酸性和鹼性化學物質以及極性溶劑,無需預潤濕處理。

產品特點

PTFE膜:低金屬離子析出量,化學相容性好;可選親水性PTFE膜、疏水性PTFE和表面改性PTFE膜

預潤濕選項:減少預處理時間

100%完整性測試:水基化學品可以直接上機使用;確保高顆粒截留能力。

應用

應用於低溫、高純度化學過濾

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