行業應用 半導體 濕法刻蝕和清洗 Cobetter過濾、純化解決方案

IonGard™ Aqua系列純化器

概述

IonGard™ Aqua系列純化器

IonGardTM Aqua系列純化器專門設計用於去除超純水或水基溶液中的金屬離子雜質。它能通過離子交換基團立即自發地去除超純水中的金屬離子，因此適用於半導體產業的大部分終端清洗工藝。

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產品特點

高離子交換能力：在要求嚴苛的超純水清洗應用中確保出色的金屬離子交換能力。

高潔淨設計：在高潔淨度等級的潔淨室生產製造；可在低溫和高溫環境下快速啟動並提高產能。

多種選擇：提供多種尺寸與配置，適用於從大宗供應系統到使用點（POU）水溶液純化等不同場景。

應用

超純水、低溫和高溫的水基溶液的純化

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