行業應用 半導體 光刻工藝 Cobetter過濾、純化解決方案

Photopex™系列小濾芯

概述

Photopex™系列小濾芯

PhotopexTM系列小濾芯是為大多數早期的機台型號設計。有種濾膜材質可選，Nylon 66、PE、PTFE，可滿足不同客戶的需求。

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產品特點

全聚乙烯支撐結構可減少顆粒污染，具有優秀的下游潔淨度，確保在晶圓上很低的微粒數。

應用

光刻膠過濾

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