行業應用 半導體 光刻工藝 Cobetter過濾、純化解決方案

Photogile™ OTTII系列POU過濾器

概述

Photogile™ OTTII系列POU過濾器

Photogile OTTII系列光刻化學品使用點過濾器為光刻工藝提供高純的過濾解決方案。

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產品特點

緊湊的一次性設計可節省空間，並通過與架臺的快速連接確保更快啟動，以減少光刻化學品的暴露。

應用

應用於光化學過濾的解決方案，配備架臺，可快速更換過濾器

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