行業應用 半導體 光刻工藝 Cobetter過濾、純化解決方案

Photogile™ PXOTT系列POU過濾器

概述

Photogile™ PXOTT系列POU過濾器

PhotogileTMPXOTT系列光刻化學品使用點過濾器專門設計應用於光刻化學品的分配系統，由一個架臺和高密度聚乙烯（HDPE）囊式過濾器組成。

架臺設計確保過濾器的更換簡單快速。

PXOTT系列過濾器有多種膜材可供選擇，例如PE、Nylon和PTFE，可適用於多種光刻化學品的過濾。

PXOTT系列過濾器可滿足先進製程的更小的過濾精度的要求，可達到Sub 1nm和具有很高的潔淨度水準，可確保低有機物、金屬離子和顆粒析出，以提高工藝製程的良率。

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產品特點

架臺設計可快速連接和斷開

在潔淨室環境中製造

高潔淨度UN/HUW等級

應用

應用於DIW、顯影液和光刻化學品的過濾

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