行業應用 半導體 光刻工藝 Cobetter過濾、純化解決方案

Photogile™ PIN系列POU過濾器

概述

Photogile™ PIN系列POU過濾器

Photogile PIN系列光刻化學品使用點過濾器設計結構緊湊,能夠與架臺快速連接和密封,從而實現快速更換過濾器。創新的設計減少了在安裝和處理過程中有害化學品的暴露的風險。

這是一款針對光刻膠和光刻化學品溶劑的過濾解決方案。有兩種膜材可選,PE和Nylon,過濾精度可達Sub 1nm。

產品在ISO9001品質系統標準潔淨廠房裡製造,以確保低有機物和金屬離子的析出。

產品特點

架臺設計緊湊,方便快速鏈接和更換

多種膜材可選

低有機物和金屬離子析出

應用

應用於光刻和光刻化學品溶劑的過濾

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