行業應用 電子材料 CMP Slurry Cobetter過濾解決方案

Plusvalid™ 系列CMP過濾器

概述

Plusvalid™ 系列CMP過濾器

PlusvalidTM系列專為高顆粒去除效率要求的CMP工藝製程應用而設計。

不對稱的PES膜可顯著截留顆粒，其特性包括親水性、高納汙能力和更長的過濾器使用壽命。

這些過濾器具有高機械強度特性，適用於各種高顆粒去除效率要求的CMP工藝製程。

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產品特點

PES膜材：親水性，低壓降


結構：不對稱度可達100 : 1；高納汙能力；使用壽命長。

截留效率：高顆粒去除效率、高而穩定的顆粒截留能力。

使用超純水清洗：確保高潔淨度和低顆粒脫落量。


應用

適用於各種高顆粒去除效率要求的CMP工藝製程。

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