行業應用 電子材料 CMP Slurry Cobetter過濾解決方案

Pleavalid™ 系列 CMP 過濾器

概述

Pleavalid™ 系列 CMP 過濾器

PleavalidTM系列折叠款CMP過濾器非常適合高固含量和容易結塊的研磨液的过滤。滤芯式和囊式過濾器的過濾精度範圍廣，涵蓋了0.1μm到40μm。

折疊式結構提供了更多的滤膜表面積，可延長使用壽命並減少過濾器的更換。

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產品特點

折疊式結構：提供高流量和更高納污量。

PP膜材：可应用于大部分的研磨液。

超純水沖洗：確保高清潔度和低顆粒脫落量。

應用

CMP工藝的研磨液過濾

Slurry供應系統的研磨液過濾

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