行業應用 電子材料 CMP Slurry Cobetter過濾解決方案

Keevalid™ II 系列CMP過濾器

概述

Keevalid™ II 系列CMP過濾器

Keevalid II系列CMP過濾器是在Keevalid系列的基礎上進行了改進。此過濾器可適用於大多數的漿料，包括STI、W及Cu等研磨液。可選擇深層或卷繞式納米纖維濾材；多種尺寸與配置可滿足不同需求。使用超純水沖洗過濾器，以確保高潔淨度及低顆粒脫落量。

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產品特點

VDKDH：與VDKD型相比，VDKDH過濾器通過擴大外層纖維的直徑來增加納垢量並延長使用壽命。同時，通過縮小內層纖維的直徑來提高效率。


VDKRN：與VDKR型相比，VDKRN在中間層有更多的納米纖維來實現更高的截留效率。



下游的細纖維可減少壓降並提高流速。


應用

CMP工藝的研磨液過濾

Slurry供應系統的研磨液過濾

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  1. Keevalid™ II 系列CMP過濾器

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