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Gasadv™ 系列1.125" C形密封氣體過濾器

概述

Gasadv™ 系列1.125" C形密封氣體過濾器

GasadvTM 1.125" C形密封氣體過濾器是專門為半導體集成氣體系統中的工藝氣體過濾而設計的。這些氣體過濾器,通過採用先進的焊接技術,全金屬結構設計,減少焊接區域,將高顆粒截留效率的316L不鏽鋼膜或鎳膜與316L外殼結合,在惰性氣體和反應氣體的過濾中具有優秀的顆粒截留效率和出色的化學相容性。

產品特點

全金屬結構確保在高溫高壓下的穩定性。

高顆粒截留效率的316L不鏽鋼膜或鎳膜,可實現1.5nm以上顆粒的截留效率達到9 LRV。

緊湊型IGS的設計比線上式的設計更節約空間。

內表面電解拋光可確保高初始潔淨度

100%完整性測試

潔淨室製造、清洗和包裝

應用

採用C形密封配置的集成式供氣系統中的工藝氣體過濾

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  1. Gasadv™ 系列1.125" C形密封氣體過濾器

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