
電子特氣
電子特氣是積體電路、平板顯示等行業必需的上游材料,廣泛應用於光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等關鍵工藝製程中。由於其在工藝中的重要性,對其純度、穩定性和潔淨度等指標有很高的要求。電子特氣的生產涉及合成、過濾純化、分析檢測、充裝等多項工藝技術。積體電路製造涉及上千道工序,工藝非常複雜,需要用到上百種電子特種氣體。
隨著積體電路製造工藝的迭代升級,線寬越來越窄,電晶體密度越來越高,對電子特氣的純度、潔淨度、穩定性等指標的要求也越來越高。科百特為電子特氣的生產製造提供完整的過濾、純化解決方案。
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