行業應用 半導體 電化學電鍍（ECP）

Ionselec™-PFSA Cu離子膜組件

概述

Ionselec™-PFSA Cu離子膜組件

IonselecTM-PFSA Cu離子膜組件是半導體電鍍銅工藝中為ECP機台定制的組件，使用新一代的PFSA膜材料，可用於半導體新款ECP機台的鍍銅工藝。

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產品特點

膜強度高

膜面電阻小

密封性能好

高阻隔效果

可以用於大馬士革等電鍍工藝機台

應用

應用於半導體製造鍍銅工藝

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