
超純水系統
在半導體製造過程中,大量的超純水被用於清洗。超純水系統採用多級過濾、反滲透(RO)、電去離子(EDI)、紫外線消毒和超濾等先進技術,有效去除水中的離子、有機物、顆粒、細菌和其他雜質,確保水質達到超純標準,滿足半導體製造的嚴格用水要求。超純水系統的高效運行和維護對於保證半導體產品的品質和良率至關重要。
科百特為超純水系統提供過濾、脫氣、超濾的解決方案,能夠滿足半導體超純水的製備要求,與此同時,科百特的流體解決方案高純PVDF管閥件也應用於半導體超純水系統的建設中,滿足超純水系統的潔淨度要求。
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