Arrayforce™ 膜接觸器
概述
Arrayforce™ 膜接觸器
超純水有著大量的嚴苛指標，因此就要求它必須經過各式各樣的處理才能達成。不同工廠對超純水的DO需求也不同，目前對一般面板廠而言超純水DO只需小於50ppb，無需第二段去氧過程進一步降低DO，只需一段MDG即可滿足需求。 而半導體晶片對於超純水不僅對DO，還對潔淨度有著嚴格的要求，因此需要兩段MDG單元。其中兩段MDG單元各有不同的側重點，make up段MDG單元處理水量大，polish段MDG單元接近出水點，對於材質潔淨度要求高。 因此對於不同的兩段去氧工序選擇不同的規格和材質的MDG，make up段MDG單元一般選擇處理量大的14x28膜接觸器，其單支處理量可達到91m3/hr；polish段MDG單元一般選擇FRP+PVDF外殼的10寸膜接觸器，其潔淨度高，可保證出水水質要求。
產品性能
規格 | 膜絲材質 | 外殼材質 | 流量範圍 | 介面 | |
殼程 | 管程 | ||||
1 x 7 | PP | PSU | < 500 mL/min | ⅛" FNPT | ¼" FNPT |
2 x 7 | PP | PSU | 300-3000 mL/min | ¼" FNPT | ¼" FNPT |
2.5 x 8 | PP/PMP | PP | 0.1-0.7 m³/hr | ¼" FNPT | ¼" FNPT |
4 x 13 | PP/PMP | PP | 0.5-3.4 m³/hr | ¾" FNPT / 1" GF | ¾" FNPT |
6 x 20 | PP/PMP | PP | 1-7.2 m³/hr | 2" GF | ¾" FNPT |
6 x 28 | PP | ABS | 1-11 m³/hr | 2" Flange | 1" Flange |
8 x 20 | PP | PVC | 1-11 m³/hr | 2" Flange | 1" Flange |
10 x 28 | PP | FRP+PVDF/ | 10-57 m³/hr | 3" Flange | 1"Flange /2" Flange |
14 x 28 | PP | PVC | 16-91 m³/hr | 4" Flange | 2" Flange |
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