Slurry輸送系統
Slurry輸送系統在半導體製造過程中負責高精度地存儲、處理和分配用於CMP工藝的Slurry，確保CMP工藝穩定性和產品品質。由於Slurry中顆粒含量高，在輸送過程中需要保持Slurry的均勻性，防止大顆粒結塊。
科百特為Slurry輸送系統提供多種解決方案。過濾解決方案能夠有效去除Slurry中的大顆粒，科百特的流體解決方案PFA風囊泵能夠為Slurry控制輸送提供動力。
Cobetter過濾解決方案
Cobetter流體控制輸送解決方案
Cobetter潔淨包裝解決方案
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