行業應用 半導體 化學品控制輸送系統 Cobetter過濾解決方案

Novacon™系列高精度化學品過濾器

概述

Novacon™系列高精度化學品過濾器

Cobetter NovaconTM系列過濾器是專門為半導體製程的酸、鹼和其他工藝化學品設計的，適用於低溫的濕法刻蝕和清洗工藝的化學品過濾。

非對稱聚醚碸（PES）膜可顯著截留顆粒（低至1nm），還具備高流速、高納汙量、使用壽命長的特性。此外，PES膜結構還能減少流動過程中氣泡的形成。這些過濾器具有很高的機械強度，適用於各種過濾工藝。

高密度聚乙烯（HDPE）外殼可確保過濾過程中金屬離子析出低。

NovaconTM一體式過濾器採用全氟結構。其一體式結構設計使其易於安裝和更換，並確保清潔度。

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產品特點

減少設備預處理時間

高顆粒截留效率

流速快，使用壽命更長

低金屬離子析出

潔淨室環境中製造

100%完整性測試

應用

半導體工藝流程：濕式蝕刻和清洗

安裝點：低溫工藝點位（<70°C）

化學品：稀酸（如BOE/ DHF）；稀鹼（如TMAH）；DIW

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