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Chemphobic™系列高純化學品過濾器

概述

Chemphobic™系列高純化學品過濾器

ChemphobicTM系列是專為高溫和強腐蝕性化學品(包括熱H2SO4, H3PO4, HNO3, SPM, SC1和SC2)而設計的理想選擇。聚四氟乙烯(PTFE)膜確保了出色的化學相容性,對各種酸鹼和其他工藝化學品具有穩定的顆粒去除能力,適用範圍廣泛。

全氟結構可大大減少金屬離子其他污染物析出,並提供高流速和更長的使用壽命,以滿足您的需求。

過濾器的高潔淨度有效縮短設備啟動時間。一體式結構設計使其易於安裝和更換。可供選擇的類型包括T-line、L-line和In-line,從而簡化了系統設計。

產品特點

堅固的結構材料

疏水性PTFE材料:可提供不同的表面積;流速更高,使用壽命更長

全聚四氟乙烯含氟聚合物材料:確保高質量的化學相容性,低金屬離子析出量

高顆粒截留效率

顆粒截留精度範圍在5nm至10μm

可去除各種酸、鹼和其他工藝化學品中的顆粒

預潤濕選項

減少預處理時間

可輕鬆開始水基化學品過濾

應用

半導體工藝流程:濕式蝕刻和清洗

高溫和強腐蝕性化學品過濾(包括熱H2SO4, H3PO4, HNO3, SPM, SC1和SC2)

資料下載

  1. Chemphobic™系列高純化學品過濾器

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