
高流量
在高世代線平板顯示製程中,隨著玻璃基板尺寸的增大,製程中需要用到的氣體或液體流量也大幅增加。在清洗、刻蝕、沉積等關鍵工藝步驟中,為了提高生產效率,需要大量高潔淨的氣體或液體來滿足生產工藝的要求,因此,高流量過濾被廣泛應用。
科百特為高世代平板顯示製造提供高流量的過濾解決方案,在保證過濾效率的前提下,通過增加濾膜面積,來滿足製程對高流量的需求。
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