
Chemphobic™系列高純化學品過濾器
概述
產品特點
堅固的結構材料
疏水性PTFE材料:可提供不同的表面積;流速更高,使用壽命更長
全聚四氟乙烯含氟聚合物材料:確保高質量的化學相容性,低金屬離子析出量
高顆粒截留效率
顆粒截留精度範圍在5nm至10μm
可去除各種酸、鹼和其他工藝化學品中的顆粒
預潤濕選項
減少預處理時間
可輕鬆開始水基化學品過濾
應用
半導體工藝流程:濕式蝕刻和清洗
高溫和強腐蝕性化學品過濾(包括熱H2SO4, H3PO4, HNO3, SPM, SC1和SC2)
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Chemphobic™系列高純化學品過濾器
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